復(fù)合式分子泵用來獲得高真空和超高真空，其廣泛應(yīng)用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、等離子體物理空間研究、表面物理和分析儀器、半導(dǎo)體和光學(xué)元器件制造、平板顯示、太陽能電池、真空鍍膜、真空冶煉等涉及真空技術(shù)的電子、冶金、化工、科研等眾多領(lǐng)域。

　　復(fù)合式分子泵的功能：

　　復(fù)合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯(lián)組合，集兩種泵的優(yōu)點(diǎn)于一體。泵在很寬的壓力范圍內(nèi) ((10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。法國(guó) Alcatle 公司生產(chǎn)的一種采用氣體靜承和動(dòng)密封的復(fù)合分子泵，可以做到*無油，且不用前級(jí)泵直接向大氣中排氣。

　　在復(fù)合式分子泵的設(shè)計(jì)中，必須處理好渦輪級(jí)與牽引級(jí)之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。由于渦輪級(jí)有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級(jí)溝槽抽氣面積較小，在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉(zhuǎn)變，使氣體分子的運(yùn)動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)在渦輪級(jí)和牽引級(jí)轉(zhuǎn)換處加上過渡級(jí)結(jié)構(gòu)，以提高泵的抽氣性能。