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今日淺看渦輪分子泵的原理及性能

       渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。
  渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)快,能抗各種射線的照射,耐大氣沖擊,無氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng),無油蒸氣污染或污染很少,能獲得清潔的超高真空。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中。
  渦輪分子泵的工作原理:
  主要有立式和臥式兩種。
  動(dòng)葉輪外緣的線速度高達(dá)氣體分子熱運(yùn)動(dòng)的速度(一般為150~400米/秒)。單個(gè)葉輪的壓縮比很小,渦輪分子泵要由十多個(gè)動(dòng)葉輪和靜葉輪組成。動(dòng)葉輪和靜葉輪交替排列。動(dòng)、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。右圖為20個(gè)動(dòng)葉輪組成的整體式轉(zhuǎn)子。每兩個(gè)動(dòng)葉輪之間裝一個(gè)靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動(dòng)、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動(dòng)葉輪可在靜葉輪間自由旋轉(zhuǎn)。
  渦輪分子泵的性能:
  泵的排氣壓力與進(jìn)氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級(jí)數(shù)和轉(zhuǎn)速有關(guān)外,還與氣體種類有關(guān)。分子量大的氣體有高的壓縮比。對(duì)氮(或空氣)的壓縮比為108~109;對(duì)氫為102~104;對(duì)分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。
  泵的極限壓力為10-9Pa,工作壓力范圍為10-1~10-8Pa,抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1L=10-3m3)。
  渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)(氣體分子的平均自由程遠(yuǎn)大于導(dǎo)管截面醉大尺寸的流態(tài))下工作才能顯示出它的*性,因此要求配有工作壓力為1~10-2Pa的前級(jí)真空泵。
  分子泵本身由轉(zhuǎn)速為10000~60000轉(zhuǎn)/分的中頻電動(dòng)機(jī)直聯(lián)驅(qū)動(dòng)。

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